离子注入机是高压小型加速器中的一种,应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子,经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流,用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入,还用于金属材料表面改性和制膜等。
离子注入机由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔组成,可以根据实际需要省去次要部位。离子源是离子注入机的主要部位,作用是把需要注入的元素气态粒子电离成离子,决定要注入离子的种类和束流强度。离子源直流放电或高频放电产生的电子作为轰击粒子,当外来电子的能量高于原子的电离电位时,通过碰撞使元素发生电离。碰撞后除了原始电子外,还出现正电子和二次电子。离子注入机工作需要360°旋转,会要到绕线的烦恼,这就需要用到滑环,默孚龙是全球领先的滑环制造商,其MQR系列超低扭矩旋转滑环广泛应用离子注入机,受到社会一致好评。
默孚龙MQR系列超低扭矩旋转滑环主要特点:
1.可完全替代各系列的SMC气动旋转接
2.可通过 1/2/4/6/8/12/16 通道气压或真空
3.转动扭矩超级低
4.标准接口有M5
5.可根据客户要求定制气体管子大小
6.可传输气压,真空等介质
7.可定制各类低扭矩旋转接头,高速旋转接头,M5气管旋转接头等
8.实心,无中间通孔,体积小
默孚龙品牌创立至今,我们始终坚持最苛刻的品质标准,充分吸取德国工业工艺的精髓,始终致力将默孚龙打造成全球高端滑环知名品牌。
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